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反射式激光器的莫尔信号特性和差分仪器的定位方法_凤凰城娱乐手机APP下载2020-12-13 17:47

本文摘要:本文阐述了反射式激光器的莫尔信号特性和差分仪器的定位方法,并通过实验验证了反射式激光器莫尔信号特性的实验测量结果和理论计算结果的一致性。获得了差分仪器定位控制方法的高精度定位实验结果。在研究反射式激光云纹信号特性的基础上,明确提出使用两组激光云纹信号传感器,以其光产生的第0个激光云纹信号的差值信号作为控制信号,通过微机控制施工设备的仪器自动定位,获得纳米级高精度定位的实验结果。

仪器

本文阐述了反射式激光器的莫尔信号特性和差分仪器的定位方法,并通过实验验证了反射式激光器莫尔信号特性的实验测量结果和理论计算结果的一致性。获得了差分仪器定位控制方法的高精度定位实验结果。第一章超强仪器自动定位激光测量技术是仪器加工行业、电子器件流水线、高清显示器生产、半导体器件生产等领域的关键基础技术。

信号

利用激光莫尔信号部署仪器自动定位技术是当今世界使用的一种高科技方法。在研究反射式激光云纹信号特性的基础上,明确提出使用两组激光云纹信号传感器,以其光产生的第0个激光云纹信号的差值信号作为控制信号,通过微机控制施工设备的仪器自动定位,获得纳米级高精度定位的实验结果。

在集成电路生产技术等仪器加工工程领域具有最重要的实用价值。双反射激光莫尔信号偏移特性传感器的结构如图1右图所示。两个散射光栅平行排列,激光束横向进入光栅,激光的散射产生光的零阶莫尔光信号r(x,G)0,经光电二极管检测后切换为电信号。

光的0阶莫尔信号的强度随两个光栅之间的相对偏差在一个圆内周期性变化,其理论关系为(1)至(4)。


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